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主权项
一种化学气相沉积装置，其包括： 一反应器，具有一排气端； 一防漏伸缩管结构，其包括： 一压缩性本体，具有一波纹管； 一套筒，设置于该波纹管内，该套筒的一端连接该反应器的排气端；以及 一垫圈，设置于该本体的一端；以及 一排气管，连接于该防漏伸缩管结构的垫圈，用以排出废气。
摘要
化学气相沉积装置，包括一反应器、一防漏伸缩管结构以及一排气管。该防漏伸缩管结构包括一压缩性本体，一套筒以及一垫圈。该垫圈设置于该本体的一端，用来连接该排气管。该套筒设置于该本体内，该套筒的一端与该反应器相连接，该套筒可避免废气直接接触该本体而残留于该本体内。另外，由于该压缩性本体以一体成型的方式形成，在废气排出的过程中，可避免废气自该压缩性本体中泄漏出，因此可提高制作工艺的质量。